测量光栅的测量原理
测量光栅通过光学干涉与信号转换技术实现高精度位移或尺寸检测,其核心原理可分解为以下关键环节:
1. 光栅结构与莫尔条纹形成
光栅组成:由标尺光栅(固定)和指示光栅(移动)组成,两者表面刻有等间距平行线纹(光栅节距为ω)。
干涉效应:当两光栅以微小倾角θ叠合时,光线通过相交区域形成明暗相间的莫尔条纹(亮区为透光部分,暗区为遮挡部分)。
放大特性:莫尔条纹的间距(W)与光栅节距(ω)和倾角θ相关,满足公式:
𝑊=𝜔2⋅sin(𝜃/2)≈𝜔𝜃(当θ较小时)W=2⋅sin(θ/2)ω≈θω
(当θ较小时)
例如,若ω=0.02mm、θ=0.1°,则W≈11.5mm,实现位移的数百倍光学放大。
2. 位移与信号转换
位移检测:指示光栅相对标尺光栅每移动一个节距ω,莫尔条纹同步移动一个条纹间距W,通过光电元件(如硅光电池)检测明暗变化,转化为周期性电信号。
方向判别:在光栅读数头中,布置多个光电元件(如4个相位差90°的元件),通过信号相位差判断运动方向。
3. 电子细分与高精度测量
信号细分:对正弦波电信号进行电子细分(如4细分、8细分),将光栅节距进一步分割为更小单位。例如,光栅节距ω=0.02mm时,4细分后分辨率可达5μm。
误差抑制:利用差分放大技术消除共模干扰,结合软件算法补偿光栅刻线误差,提升测量稳定性。
4. 应用模式与优势
非接触测量:通过红外光或可见光幕检测物体尺寸或位置,适用于高速、高温或易损物体(如玻璃、金属件)的在线检测。
场景适配:
物流分拣:通过光幕遮挡区域判断物体体积(长×宽×高)。
工业纠偏:实时监测材料边缘位置,反馈纠偏系统调整对齐精度。
5. 技术优势
高分辨率:电子细分技术可实现纳米级精度(如高端光栅系统)。
抗干扰性:调制光技术(如脉冲红外光)可排除环境光干扰,适用于复杂工业环境。
通过以上原理,测量光栅在精密制造、自动化分拣等领域实现了高效、可靠的尺寸与位移检测,成为工业检测中的核心传感设备。